| 产地 | 江苏 |
|---|---|
| 电压 | 380V |
| 额定功率 | 50HZ(三相四线） |
| 外形尺寸 | 1300*1260*970 |
| 重量 | 250KG |
| 结构型式 | 一体式 |
| 操作方式 | 全自动 |
| 品牌 | 奥曼特 |
| 型号 | SG11 |
| 加工定制 | 是 |
| 型号 model | 半导体行业 Semiconductor | |||
| SG09 | SG13 | |||
| 工作腔数量 | 4 | 4 | ||
| 硅片规格 mm | 2.5", 3", 4", 5", 6",8"156 | 12" | ||
| 旋转速度 r/min | 0-1000 | 0-600 | ||
| 氮气压力 | 0.3 | |||
| 去离子水压力 | 0.3 | |||
| 电阻率监控 | 可选 optional | |||
| 氮气密封 Nitrogen seal | 有 Yes | |||
| 空/氮气烘干 | 有 Yes | |||
| 氮气加热方式 | 热传导 Heat exchange | |||
| 氮气加热温度 | 30-120℃ PID控温 30-120℃ PID control | |||
| 辅助加热系统 | 有 Yes | |||
| 腔体电化学抛光 | 可选 optional | |||
| 电机驱动 | 变频调速 Speed regulating by frequency conversion | |||
| 控制系统 | PLC可编程控制器 PLC | |||
| 控制显示器 | 液晶触摸屏 LCD touch screen | |||
| 外型尺寸（长x宽x高）mm | 1040x1095x894 | 1636X1552X1007 | 1250x1296x970 | 1376x1296x1007 |
| 电源功率 kw | 5 | 6 | 6 | 6 |
| 电压 / 频率 | AC380V 50HZ (三相四线) / AC380V 50HZ (3-phase) | |||
1． 整个甩干过程一般只需5-6分钟；
2． 设备的外露面为进口PP板，外形美观，耐酸气腐蚀；
3． 工作腔、旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢，并且表面电化学抛光处理；
4． 旋转机构经过精密动平衡处理，保证工作时的平衡性；
5． 采用特种减振器，精密减振和阻尼，保证系统的稳定；
6． 采用了洁净化处理技术，阀门、接头和管道采用不锈钢、PFA高纯管件和聚四氟；
7． 采用油压缸自动开门关门, 平稳安全可靠；
8． 采用油浴炉或气体加热器加热氮气，热量足，温度稳定，加热温度实时监控，并显示在液晶屏上，并有双重安全保护；
9． 特制喷头和气液流体控制系统, 全自动切换；
10． 顶盖采用电加热板辅助加热，保证顶盖烘干后不滴水；
11． 工作腔采用防静电控制。
2. 程序设计可靠, 速度调节、温度调节和时间调节等都可以在触摸屏上设定、修改和保存；
3. 采用变频技术控制转速，加减速平稳，清洗和甩干速度按工艺要求设定，并实时显示在液晶屏上；
4. 采用电子制动，制动时间控制在15秒之内；
5. 控制软件具有故障实时显示和报警功能；
6. 采用了工作过程状态监控，门位置状态监控与互锁，氮气加热温度实时监控，紧急停止按钮等安全措施。