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硅片（IC级，提拉法CZ） | 直拉单面抛光硅片 | 1英寸（25.4mm）单面抛光直拉硅片厚度500um |
1英寸（25.4mm）单面抛光直拉硅片厚度500um | ||
2英寸（50.8mm）单面抛光直拉硅片厚度280um | ||
3英寸（76.2mm）单面抛光直拉硅片厚度380um | ||
4英寸（100mm）单面抛光直拉硅片厚度500um | ||
5英寸（125mm）单面抛光直拉硅片厚度625um | ||
6英寸（150mm）单面抛光直拉硅片厚度675um | ||
直拉双面抛光硅片 | 1英寸（25.4mm）双面抛光直拉硅片厚度500um | |
2英寸（50.8mm）双面抛光直拉硅片厚度280um | ||
3英寸（76.2mm）双面抛光直拉硅片厚度380um | ||
4英寸（100mm）双面抛光直拉硅片厚度500um | ||
5英寸（125mm）双面抛光直拉硅片厚度625um | ||
6英寸（150mm）双面抛光直拉硅片厚度675um | ||
直拉单面抛光超薄硅片 | 1英寸（25.4mm）单面抛光超薄直拉硅片厚度100um | |
2英寸（50.8mm）单面抛光超薄直拉硅片厚度100um | ||
3英寸（76.2mm）单面抛光超薄直拉硅片厚度100um | ||
4英寸（100mm）单面抛光超薄直拉硅片厚度100um | ||
直拉双面抛光超薄硅片 | 1英寸（25.4mm）双面抛光超薄直拉硅片厚度100um | |
2英寸（50.8mm）双面抛光超薄直拉硅片厚度100um | ||
3英寸（76.2mm）双面抛光超薄直拉硅片厚度100um | ||
4英寸（100mm）双面抛光超薄直拉硅片厚度100um | ||
硅片（IC级，区熔FZ） | 区熔单面抛光硅片 | 1英寸（25.4mm）单面抛光区熔硅片厚度500um |
2英寸（50.8mm）单面抛光区熔硅片厚度280um | ||
3英寸（76.2mm）单面抛光区熔硅片厚度380um | ||
4英寸（100mm）单面抛光区熔硅片厚度500um | ||
区熔双面抛光硅片 | 1英寸（25.4mm）双面抛光区熔硅片厚度500um | |
2英寸（50.8mm）双面抛光区熔硅片厚度280um | ||
3英寸（76.2mm）双面抛光区熔硅片厚度380um | ||
4英寸（100mm）双面抛光区熔硅片厚度500um | ||
区熔单面抛光超薄硅片 | 1英寸（25.4mm）单面抛光区熔超薄硅片厚度100um | |
2英寸（50.8mm）单面抛光区熔超薄硅片厚度100um | ||
3英寸（76.2mm）单面抛光区熔超薄硅片厚度100um | ||
4英寸（100mm）单面抛光区熔超薄硅片厚度100um | ||
区熔双面抛光超薄硅片 | 1英寸（25.4mm）双面抛光区熔超薄硅片厚度100um | |
2英寸（50.8mm）双面抛光区熔超薄硅片厚度100um | ||
3英寸（76.2mm）双面抛光区熔超薄硅片厚度100um | ||
4英寸（100mm）双面抛光区熔超薄硅片厚度100um |
产品参数 | |
产品尺寸 | 12英寸单面抛光硅片 |
生产方式 | 直拉单晶（CZ） |
直径和公差mm | 300±0.3mm |
型号/掺杂类型 | N型（掺磷、砷）P型（掺硼） |
晶向 | <111>\<100>\<110> |
电阻率 | 0.001-50（ohm-cm）（可按照客户要求订制不同电阻率范围） |
平整度TIR | <3um |
翘曲度TTV | <10um |
弯曲度BOW | <40um |
粗糙度Ra | <0.5nm |
颗粒度pewaferr | <30@0.3um |
包装方式 | 25片封装100级洁净室双层抽真空包装 |
发票 | 提供增值税发票 |
现在库存 | 请联系我们现有库存清单 |
用途 | 用于工艺等同步辐射样品载体、PVD/CVD镀膜做衬底、磁控溅射生长样品、XRD、SEM、原子力、红外光谱、荧光光谱等分析测试基底、分子束外延生长的基底、X射线分析晶体半导体光刻 |
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