| 品牌 | PONA |
|---|---|
| 型号 | BNLS-300-2 |
一，用途
本甩干机主要用于对太阳能硅片、半导体硅片、LED晶圆片等产品进行高洁净度全自动快速清洗、离心脱水、烘干。
二， 主要性能指标和参数
工作腔数量：2套
硅片规格：2吋、4吋
旋转速度r/min：无级调速**高转速2800rpm
氮气压力Mpa：0.2~0.3
氮气耗量L/min：120（单腔）
去离子水压力Mpa：0.4~0.6
去离子水耗量L/min：5~10（单腔）
电阻率监控：可选择
控制系统：PLC可编程控制
显示：液晶触摸屏
总电源：220V±10%，4.5KW
